日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U10H 真空计 CRYO-U10HSP
2025-08-21 15:51:21
admin
日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U10H 真空计 CRYO-U10HSP
“Model: CRYO-U10HSP” 是一种使用二级 GM 冷却器的低温泵，能够实现高真空抽气。
根据应用，包括 FPD、半导体、电子设备、光学和研发，提供从小型到大型的各种产品。
根据应用，包括 FPD、半导体、电子设备、光学和研发，提供从小型到大型的各种产品。
功能
适用于溅射应用
氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。
再生间隔延长意味着更高的工具可用性。
可以建立多个连接（最多3个）。
规格
| 泵速(20℃) | 氮 | 长镜头 | 2,400 |
| 氢 | 3600 | ||
| 氩 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 终极压力 | 压力(托) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(托・L/s) | 1.30×103(9.8) |
| 泵速 | 氩 | Pa・L(托尔・升) | 2.0×108(1.5×106) |
| 1.2×106(9.0×103) | |||
| 冷却时间 （电力循环） | 最小频率（Hz） | 120/110（50/60） | |
| 安装法兰 | UVG-250,10B美国国家标准协会 | ||
| 压缩机装置 | C15T | ||
| 重量 | 千克 | 36.0 | |
