日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U8HL 真空计 CRYO-U8HSP
2025-08-21 15:49:54
admin
日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U8HL 真空计 CRYO-U8HSP
Model: CRYO-U8HSP” 是一种使用二级类型GM低温冷却器的低温泵，它能够实现高真空泵送。
根据应用包括FPD、半导体、电子设备、光学和研发，提供从小型到大型的各种产品。
根据应用包括FPD、半导体、电子设备、光学和研发，提供从小型到大型的各种产品。
功能
适用于溅射过程。
氩气的置换量是常规型号（U8H）的约2.5倍。
氢气排放速度已提高到传统型号（U8H）的约1.2倍。
播放间隔变长，有助于提高设备可用性。
多个操作（最多3个单位）
规格
| 泵速(20℃) | 氮 | 长镜头 | 1700 |
| 氢 | 3,200 | ||
| 氩 | 1,400 | ||
| 水 | 4000 | ||
| 终极压力 | 压力(托) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(托拉斯・L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 泵的容量 | 氩 | Pa・L(托耳・升) | 2.5×108(1.9×106) |
| 氢 | 1.0×106(7.8×103) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小频率（赫兹） | 125/115（50/60） | |
| 安装法兰 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| 压缩机装置 | C10T，C10AT | ||
| 千克 | 33.2 | ||
