日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U16P 真空计 CRYO-U20P
2025-08-21 15:58:08
admin
日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U16P 真空计 CRYO-U20P
功能
适用于大型沉积系统和其他生产设备。
适用于批量类型的大型沉积系统。
规格
| 泵速(20℃) | 氮 | 中长裤 | 10,000 |
| 氢 | 18,000 | ||
| 氩 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 终极压力 | 压力(托) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(托拉斯・L/s) | 1.1×103(8.7) |
| 泵的容量 | 氩 | Pa・L(托尔・升) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氢 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小频率（赫兹） | 180/160（50/60） | |
| 安装法兰 | UVG-500 | ||
| 压缩机装置 | C30VRT | ||
| 重量 | 千克 | 69.0 | |
