日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U22WB 真空计 CRYO-U22H
2025-08-21 16:01:33
admin
日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U22WB 真空计 CRYO-U22H
“Model: CRYO-U22H” 是一种使用二级通用低温冷却器的低温泵，能够实现高真空泵送。
根据应用，包括FPD、半导体、电子设备、光学和研发，提供从小型到大型的各种产品。
根据应用，包括FPD、半导体、电子设备、光学和研发，提供从小型到大型的各种产品。
功能
适用于大型沉积系统。
更大的抽水速度。
规格
| 泵速(20℃) | 氮 | 长镜头 | 17,000 |
| 氢 | 25,000 | ||
| 氩 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 终极压力 | 压力(托) | 10-7 (10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(托拉斯・L/s) | 4.1×103 (31) |
| 泵的容量 | 氩 | Pa・L(托尔・升) | 8.1×108 (6.1×106) |
| 氢 | 8.5×106 (6.4×104) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小频率（Hz） | 150/135 (50/60) | |
| 安装法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机装置 | C30VRT×2 | ||
| 重量 | 千克 | 125.0 | |
