日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U12HSP 真空计 CRYO-U16
2025-08-21 15:54:38
admin
日本 ULVAC 爱发科 CRYO-U12HSP 真空计 CRYO-U16
功能
适用于中大型设备。
适用于批量类型的大型沉积系统。
耐热负荷。
规格
| 泵送速度(20℃) | 氮 | 长镜头 | 5,000 |
| 氢 | 10,000 | ||
| 氩 | 4200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 终极压力 | 压力(托) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s(托拉斯・L/s) | 1.4×103(11.0) |
| 泵的容量 | 氩 | Pa・L(托尔・升) | 4.3×108(3.3×106) |
| 氢 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小频率（Hz） | 110/100（50/60） | |
| 安装法兰 | UVG-400 | ||
| 压缩机装置 | C30VRT | ||
| 重量 | 千克 | 61.0 | |
